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場發(fā)射掃描電子顯微鏡簡介場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。
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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技(SuperTun nel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展 應用范圍。